探討精密XY位移平臺(tái)平行四連桿結(jié)構(gòu)及力學(xué)模型

添加時(shí)間：2020-6-9 9:24:34 作者：浙江金科機(jī)械傳動(dòng)有限公司

1.精密XY位移平臺(tái)平行四連桿結(jié)構(gòu)
    精密XY位移平臺(tái)用于微定位,產(chǎn)生微米至納米級(jí)的位移,要求其導(dǎo)軌副間無間隙和摩擦,位移分辨率高,在保證大輸出位移情況下具有較大的剛度,只沿驅(qū)動(dòng)方向作直線運(yùn)動(dòng),而不在其他方向上產(chǎn)生交叉耦合位移。雙柔性平行四桿結(jié)構(gòu)呈對(duì)稱性,不僅能消除單平行四桿結(jié)構(gòu)中存在的交叉耦合位移,而且在一定程度上減弱了外界的干擾,具有良好的導(dǎo)向性。
    精密XY位移平臺(tái)的結(jié)構(gòu)模型。當(dāng)給工作臺(tái)施加驅(qū)動(dòng)力時(shí),所有的柔性鉸鏈將產(chǎn)生一定的偏轉(zhuǎn),使精密XY位移平臺(tái)沿驅(qū)動(dòng)力方向產(chǎn)生一定位移,在保證加工和裝配完全對(duì)稱的條件下,該結(jié)構(gòu)的對(duì)稱性使微動(dòng)臺(tái)不會(huì)在垂直方向產(chǎn)生耦合運(yùn)動(dòng)。同時(shí),該結(jié)構(gòu)的間接驅(qū)動(dòng)方式能有效避免工作臺(tái)面產(chǎn)生變形,使pzt的驅(qū)動(dòng)位移得到高效地傳遞
2.精密XY位移平臺(tái)柔性鉸鏈的力學(xué)模型
精密XY位移平臺(tái)采用雙圓弧柔性鉸鏈,其繞z軸轉(zhuǎn)動(dòng)剛度為kb=2ebt5/2/9πr1/2式中 e為材料的彈性模量; t、h、b分別為厚度和高度。
pzt產(chǎn)生推力,驅(qū)動(dòng)微動(dòng)臺(tái)運(yùn)動(dòng),驅(qū)動(dòng)力對(duì)柔性鉸鏈產(chǎn)生一個(gè)繞z軸的力矩mz,使鉸鏈繞z軸偏轉(zhuǎn)αz角

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